Verios XHR SEM
Verios 是 FEI 的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中，它可在 1 至 30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級分辨率以及增強的對比度，滿足材料精密測量所需，同時又不會削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。
Verios 的生命科學(xué)應(yīng)用
觀測敏感的生物樣本時，過高的成像電壓帶來的電子束會損傷樣本，從而無法在細胞研究中觀測關(guān)鍵細節(jié)。Verios XHR 掃描電子顯微鏡 (SEM) 可在 1kV 的電子束電壓下工作，因而能限度減少樣本干擾，同時又不會削弱分辨率和對比度。生物研究人員現(xiàn)在可以處理大量敏感的生物樣本，并迅速生成高分辨率圖像，從而洞察細胞器的關(guān)鍵功能和過程。
Verios XHR SEM 優(yōu)勢
Verios 的電子工業(yè)應(yīng)用
Verios XHR SEM 推出了全新的檢測器硬件，將 SEM 的觀測能力進一步拓展至 20 nm 亞納米量級半導(dǎo)體器件。Verios 可提供的低電壓 SEM 分辨率和材料對比度，能夠讓半導(dǎo)體工藝控制實驗室測量對電子束敏感的材料以及無法使用傳統(tǒng) SEM 儀器成像的極小結(jié)構(gòu)。 Verios 還包括一些易于使用的新功能，能夠為 22 nm 技術(shù)節(jié)點及以下的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)提供的每樣本成像和測量成本。
Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用
對材料科學(xué)家來說，Verios 可以將亞納米表征拓展到當下正在開發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結(jié)構(gòu)），從而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展精確的原型設(shè)計應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。
