高檔型硅片檢測顯微鏡 TGB-600詳細技術(shù)參數(shù)
一、儀器用途
TGB-600 大平臺明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、無限遠長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括:顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一。
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類型 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
| 明暗場無窮遠長距平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 | |
| 20X | 0.40 | 7.3 | |
| 50X | 0.70 | 2.5 | |
| 80X | 0.80 | 1.25 |
3.光學放大倍數(shù)：50X 100X 200X 500X 800X
4.三目鏡30°傾斜，雙目瞳距調(diào)節(jié)范圍：53~75mm
5.五孔轉(zhuǎn)換器
6.調(diào)焦機構(gòu)：粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值：0.8μm,
粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
7.載物臺機械式尺寸：280mmX270mm；移動范圍橫向(X) 204mm，縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器，可360度旋轉(zhuǎn)，可推拉切換 ；檢偏振器，可推拉切換
9.照明系統(tǒng)12V 50W鹵素燈，亮度可調(diào)
10.防霉:的防霉系統(tǒng)
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
4.三目鏡30°傾斜，雙目瞳距調(diào)節(jié)范圍：53~75mm
5.五孔轉(zhuǎn)換器
6.調(diào)焦機構(gòu)：粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值：0.8μm,
粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
7.載物臺機械式尺寸：280mmX270mm；移動范圍橫向(X) 204mm，縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器，可360度旋轉(zhuǎn)，可推拉切換 ；檢偏振器，可推拉切換
9.照明系統(tǒng)12V 50W鹵素燈，亮度可調(diào)
10.防霉:的防霉系統(tǒng)
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
三、系統(tǒng)組成
(TGB-600)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數(shù)
TGB-600：50--3800倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡： 10X(帶刻度) 3.物鏡：40X 60X
