1半導(dǎo)體/FPD檢查金相顯微鏡GX-21PC 特點(diǎn)和應(yīng)用方向
特點(diǎn):
大行程移動(dòng)采用8寸平臺(tái)設(shè)計(jì),平臺(tái)面積:525mmX330mm,移動(dòng)范圍:210mmX210mm,可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏振光/透反射光/微分干涉
2半導(dǎo)體/FPD檢查金相顯微鏡GX-21PC 產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC/透反射光 |
觀察筒 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,360°旋轉(zhuǎn),瞳距調(diào)節(jié)范圍54-75mm,單邊視度調(diào)節(jié):±5屈光度 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相明暗物鏡5X/0.15 WD=10.80mm |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相明暗物鏡10X/0.30 WD=12.20mm | |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相明暗物鏡20X/0.45 WD=4.00mm | |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相明暗物鏡50X/0.55 WD=7.90mm | |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相明暗物鏡100X/0.80 WD=2.10mm(選配) | |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)定位轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 |
總放大倍數(shù) | 50X-1000X |
載物臺(tái) | 8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y放心同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積:525mmX330mm,移動(dòng)范圍:210mmX210mm;透反射用玻璃載物臺(tái) |
粗微調(diào)機(jī)構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置 |
反射照明系統(tǒng) | 帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素?zé)?,光?qiáng)連續(xù)可調(diào),帶光亮設(shè)定按鈕與復(fù)位按鈕 |
透射照明系統(tǒng) | 單顆大功率5W LED,白色,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào),帶光亮設(shè)定按鈕與復(fù)位按鈕 |
偏光裝置 | 進(jìn)口反射偏振鏡組,含起偏鏡組,360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
濾光片 | 干涉濾光片,藍(lán)色(反射用):≤480nm |
干涉濾光片,綠色(反射用):520-570nm | |
干涉濾光片,紅色(反射用):630-750nm | |
干涉濾光片,色平衡片(白光)(反射用) |
成像參數(shù)
分辨率 | 2560 x 1920 |
傳感器尺寸 | 2/3 |
像素尺寸 | 3.40μm x 3.40μm |
傳感器有效影像區(qū)域 | 9.74mm(H) x 7.96mm |
光譜響應(yīng) | 380-650nm |
像素疊加 | 1 x 1, 2 x 2 |
曝光能力 | 0.203ms~104.899ms |
白平衡 | 手動(dòng)白平衡/一次白平衡/區(qū)域白平衡 |
圖片格式 | 日常圖片格式 |
語(yǔ)言 | 各種語(yǔ)言可任意切換 |
操作系統(tǒng) | 兼容win7/10 32/64bit |
數(shù)據(jù)傳輸模式 | USB3.0 |
功能 | 可對(duì)圖像進(jìn)行測(cè)量、增加比例尺,增加文字 |
3半導(dǎo)體/FPD檢查金相顯微鏡GX-21PC 成套件
產(chǎn)品裝箱單
序號(hào) | 規(guī)格 | 單位 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | 顯微鏡主機(jī) | 臺(tái) | 1 |
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2 | 三目觀察鏡筒 | 只 | 1 |
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3 | 二維移動(dòng)工作臺(tái) | 件 | 1 |
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4 | 目鏡WF10X | 只 | 2 |
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5 | 物鏡:5X.10X.20X.50X | 只 | 各1 |
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6 | 照明器 | 只 | 1 |
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7 | 攝像適配鏡 | 只 | 1 |
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8 | 數(shù)字式攝像頭500W | 套 | 1 | USB3.0 |
9 | 鹵素?zé)羰? | 只 | 1 |
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10 | 內(nèi)六角調(diào)節(jié)扳手 | 只 | 1 |
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11 | 電源線 | 根 | 1 |
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12 | 產(chǎn)品裝箱單 | 份 | 1 |
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13 | 隨機(jī)文件 | 份 | 1 |
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選配件
專業(yè)金相評(píng)級(jí)分析軟件、測(cè)量軟件
物鏡100X、帶尺目鏡10X/0.1mm
測(cè)微尺0.01mm
電腦、打印機(jī)