1、 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
2、 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。
產(chǎn)品用途:
此款三溫區(qū)CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品詳情:
名稱 | 高溫三溫區(qū)CVD設(shè)備 | |
型號(hào) | KJ-OTF-1700-F5 | |
加熱系統(tǒng) | 顯示 | LED |
溫度 | 1700℃ | |
工作溫度 | ≤1600℃ | |
升溫速率 | 0~15℃/min | |
溫區(qū) | 3 | |
溫區(qū)長度 | 220mm | |
加熱元件 | MoSi2 棒 | |
熱電偶 | B型 | |
控溫精度 | ±1℃ | |
管尺寸 | 80 x 1400mm | |
材質(zhì):氧化鋁 | ||
溫度控制 | PID自動(dòng)控制 | |
溫控方式 | 30段可編程 | |
真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | |
真空法蘭 | 帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭 | |
電壓/功率 | 220V, 50 Hz, 10KW | |
真空泵系統(tǒng) | 真空泵組 (旋片泵+擴(kuò)散泵) 包括 KF25、KF50 適配器、真空泵組波紋管和帶輪移動(dòng)柜。 | 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。 |
質(zhì)量流量計(jì)(5氣路) | 流量范圍 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
準(zhǔn)確性 | ±1.5 % F.S. | |
重復(fù)精度 | ±1.5 % F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≦10sec | |
工作壓差范圍 | 0.1~0.5MPa | |
耐壓性 | 3MPa | |
溫度系數(shù) | 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃ | |
工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
輸入信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | |
輸出信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | |
電插頭形式 | DB15針(母) |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。