1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝
2、采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3、具有友好的人機(jī)界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；
4、具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5、具有強(qiáng)大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間；
6、恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度；
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能；
8、可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。
應(yīng)用范圍：
本設(shè)備為科研型擴(kuò)散氧化爐，適用于企業(yè)研發(fā)、大學(xué)及科研院所的科研與教學(xué)?？蓾M足多晶硅、氮化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 科研型擴(kuò)散氧化爐 |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1300-LZ-10KS |
| 工作溫度 | 1300℃ |
| 應(yīng)用晶片尺寸 | 2~8英寸圓片 |
| 可配工藝管數(shù)量 | 1~2管/臺 |
| 恒溫區(qū)長度 | 300~600mm |
| 恒溫區(qū)精度 | ≤±0.5℃ |
| 溫度穩(wěn)定性 | ≤±0.5℃/24h |
| 溫度斜變能力 | 升溫速率10℃/min，降溫速率5℃/min |
| 預(yù)警 | 具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能 |
| 更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制 | |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
