該定制RTP快速退火爐是一款RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。
應(yīng)用范圍：
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計(jì)，采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 ±1°C°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 定制RTP系統(tǒng) |
部分： 管式爐 | |
產(chǎn)品名稱 | 開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐 |
溫度 | 1000度 |
控 制 器 | LCD觸摸屏 |
爐管尺寸 | 石英管 外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口 |
加熱區(qū) | 300mm |
爐型 | 開啟式 |
供電電源 | 電壓：380V； 頻率:50 hz；三相 |
加熱元件 | 鹵素?zé)艏訜? |
升溫速率 | 30 C/秒 |
熱 電 偶 | K 型熱電偶測物料處溫度 |
溫度控制器 | 30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
第二部分 混氣系統(tǒng) | |
量程 | MFC1：氧氣（O2）0-200sccm MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm |
第三部分 真空系統(tǒng) | |
飛越VDR-4 1L/S +粉塵過濾器配套防腐數(shù)顯真空計(jì) | |
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