SATOVAC日本真空計BST-50
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日本的真空度標準(1次標準)是設置在產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所的光波干涉式標準氣壓計(大氣壓~102Pa,不確定度±0.7Pa),設置在該電子技術綜合研究所的標準麥克勞德真空計(1.3~1.3×10-2Pa,不確定度±2%為基準。標準麥克勞德真空計的校準是針對日本真空協(xié)會委托的副標準電離真空計用球VS-1實施的,該校準后的真空計為2次標準(使用壓力范圍2.7×10-1~1.3×被稱為10-4Pa,不確定度±3%,是可以使用也可靠的真空計。
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