超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU9000
專門為電子束敏感樣品和需300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的半導(dǎo)體器件,高分辨成像所設(shè)計(jì)。
特點(diǎn)
- 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。
0.4 nm / 30 kV (SE)
1.2 nm / 1 kV (SE)
0.34 nm / 30 kV (STEM) - 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。
- 采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過(guò)濾技術(shù),高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM樣品前處理裝置