半導(dǎo)體腔室內(nèi)高精度測溫解決方案
產(chǎn)品描述:
1、精密測溫NTC傳感器;
2、真空貫通法蘭;
3、精密多通道測溫儀;
4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 精密測溫NTC傳感器:
采用高精度NTC傳感器,可實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體光刻設(shè)備真空系統(tǒng)的精準(zhǔn)測溫。傳感器敏感度高,響應(yīng)時(shí)間短,穩(wěn)定性優(yōu)良,確保溫度測量的準(zhǔn)確性和可靠性。
- 真空貫通法蘭:
采用真空貫通法蘭,確保測溫設(shè)備與真空系統(tǒng)之間的wanquan封閉。法蘭設(shè)計(jì)合理,安裝簡便,有效防止真空系統(tǒng)泄漏,提高測溫儀器的穩(wěn)定性和可靠性。
- 精密多通道測溫儀:
多通道測溫儀設(shè)計(jì)精細(xì),可同時(shí)測量多個(gè)點(diǎn)位的溫度。儀器具備高分辨率、高采樣率、高精度等優(yōu)勢,可滿足對光刻設(shè)備真空系統(tǒng)多個(gè)位置溫度進(jìn)行精密監(jiān)測的需求。
- 溫度采集分析軟件DAQ TEMP:
配備溫度采集分析軟件DAQ TEMP,可實(shí)時(shí)監(jiān)測、采集、分析和記錄溫度數(shù)據(jù)。軟件界面友好,操作簡便,提供詳細(xì)的溫度曲線圖、數(shù)據(jù)分析等功能,幫助用戶更好地了解和掌握真空系統(tǒng)的溫度變化。
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造廠商、研發(fā)機(jī)構(gòu)以及相關(guān)的光刻設(shè)備維護(hù)和技術(shù)服務(wù)人員。它們可以利用本產(chǎn)品對光刻設(shè)備真空系統(tǒng)進(jìn)行精密測溫,有效提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性,優(yōu)化生產(chǎn)流程,提升產(chǎn)品質(zhì)量。
半導(dǎo)體腔室內(nèi)高精度測溫解決方案