中圖儀器SJ6000超精密機床激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、高測速下分辨率高等特點，廣泛應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領(lǐng)域。
SJ6000超精密機床激光干涉儀結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
產(chǎn)品功能
（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；
（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
部分技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項：
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
