Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

適合元器件測(cè)試用設(shè)備，在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在多種溫度下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。 用于芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供且快速的環(huán)境溫度。是對(duì)產(chǎn)品電性能測(cè)試、失效分析、可靠性評(píng)估的儀器設(shè)備。應(yīng)用于半導(dǎo)體企業(yè)、航空航天、光通訊、高校、研究所等領(lǐng)域。

Recirculating Chiller半導(dǎo)體模塊Chiller

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫