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晶圓退火爐/半導體真空退火爐 AOL-100GV-HMI

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海旦順實業(yè)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/5/3 10:01:22
  • 訪問次數(shù)402
產(chǎn)品標簽:

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上海旦順實業(yè)有限公司(DONE-E)是一家集生產(chǎn)、銷售、服務于一體的烘箱、環(huán)境試驗箱、防潮箱產(chǎn)品及提供環(huán)境溫濕度管理專業(yè)解決方案的優(yōu)秀供應商。公司已建立以環(huán)境試驗設(shè)備、烘箱、隧道爐等產(chǎn)品為主體的加工基地。 我公司擁有專業(yè)的技術(shù)人才,*的生產(chǎn)設(shè)備,強大的生產(chǎn)型經(jīng)濟實體,有穩(wěn)定的原材料供應商和充分的優(yōu)質(zhì)貨源,為公司的長遠發(fā)展提供了有利的保障。作的環(huán)境管理系統(tǒng)提供商。公司專門為半導體、電子、醫(yī)藥、實驗室提供各種環(huán)境管理解決方案。為了確保公司產(chǎn)品繼續(xù)保持其競爭優(yōu)勢, Done-e一直致力投資開發(fā)未來一代的*技術(shù)。目前 Done-e 已著手開發(fā)未來 5 至 10 年都可適用的高性能技術(shù)。
充氮烘箱
晶圓退火爐/半導體真空退火爐AOL-100GV-HMI工作尺寸(mm):W610×H650×D750外形尺寸(mm):W1900×H2075×D1250功率:14KW性能特點:◆智能控制系統(tǒng),PLC程序控制,基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對接,實現(xiàn)自動化烘烤,過程管理
晶圓退火爐/半導體真空退火爐 AOL-100GV-HMI 產(chǎn)品信息
晶圓退火爐/半導體真空退火爐 AOL-100GV-HMI
工作尺寸(mm): W610×H650×D750
外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250
功率:14KW
性能特點:
 智能控制系統(tǒng),PLC程序控制,基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對接,實現(xiàn)自動化烘烤,過程管理;
◆ 箱體周身做密閉氬弧焊接, 耐高溫硅膠迫緊;
 特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,含氧量:<20PPM;
 氧含量分析儀,可實時監(jiān)測氧含量;
 安裝氮氣控制裝置,箱體可以接入氮氣,N2數(shù)字流量器,可實時監(jiān)控氮氣流量;
 SUS310#不銹鋼無塵化電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;
 無塵等級:Class 100
 真空度:133Pa
技術(shù)參數(shù):
1. 送風方式:強制送風循環(huán)。
2. 溫度范圍:+60~620℃。
3. 溫度波動:<±0.5℃。
4. 溫度均勻:200℃±3;350℃±4;600℃±7.5(空箱測試)
5.  升溫速度:常溫600,升溫速率08/min以內(nèi)
6.  降溫速度:50036012/min,360200,51/min,200125,31/min,125
        80,10.5/min,水冷+風冷降溫。
7 控溫方式:訊號來源,采用K型 鉑電阻 感應棒±0.5%。
  溫控裝置:歐姆龍PLC + 10寸工控電腦。
        PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S
        歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出)
        系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮氣不足,含氧量超標、門未關(guān)到位
  溫控輸出:SSR輸出  
8.  氮氣控制裝置:氮氣流量計,N2數(shù)字流量器,可實時監(jiān)控氮氣流量。
9.  箱體材料:外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷
10.內(nèi)室材料:采用 2.0mm厚度SUS310優(yōu)質(zhì)不銹鋼鋼板,周身做密閉氬弧焊接
11.保溫材料:120K級高密度硅酸鋁纖維
12電加熱器:覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀(不銹鋼SUS310#)電熱發(fā)生器。
13.保護裝置:漏電斷路器,超溫保護,開門氮氣自動中斷保護,馬達過載電流保護,N2流量動態(tài)監(jiān)
        控,排風口壓力報警,工作期間門自動鎖閉
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
關(guān)鍵詞:PLC 保溫材料 硅酸鋁
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