晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI
參考價(jià) | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
- 品 牌
- 型 號(hào)
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)其他
- 更新時(shí)間2023/5/3 10:01:22
- 訪問(wèn)次數(shù)350
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上海旦順實(shí)業(yè)有限公司(DONE-E)是一家集生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的烘箱、環(huán)境試驗(yàn)箱、防潮箱產(chǎn)品及提供環(huán)境溫濕度管理專業(yè)解決方案的優(yōu)秀供應(yīng)商。公司已建立以環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、烘箱、隧道爐等產(chǎn)品為主體的加工基地。 我公司擁有專業(yè)的技術(shù)人才,*的生產(chǎn)設(shè)備,強(qiáng)大的生產(chǎn)型經(jīng)濟(jì)實(shí)體,有穩(wěn)定的原材料供應(yīng)商和充分的優(yōu)質(zhì)貨源,為公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展提供了有利的保障。作的環(huán)境管理系統(tǒng)提供商。公司專門為半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室提供各種環(huán)境管理解決方案。為了確保公司產(chǎn)品繼續(xù)保持其競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì), Done-e一直致力投資開發(fā)未來(lái)一代的*技術(shù)。目前 Done-e 已著手開發(fā)未來(lái) 5 至 10 年都可適用的高性能技術(shù)。
充氮烘箱
晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI 產(chǎn)品信息
晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI
工作尺寸(mm): W610×H650×D750
外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250
功率:14KW
性能特點(diǎn):
◆ 智能控制系統(tǒng),PLC程序控制,基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過(guò)程管理;
◆ 箱體周身做密閉氬弧焊接, 耐高溫硅膠迫緊;
◆ 特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),含氧量:<20PPM;
◆ 氧含量分析儀,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氧含量;
◆ 安裝氮?dú)饪刂蒲b置,箱體可以接入氮?dú)?/font>,N2數(shù)字流量器,可實(shí)時(shí)監(jiān)控氮?dú)饬髁?/font>;
◆ SUS310#不銹鋼無(wú)塵化電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
◆ 無(wú)塵等級(jí):Class 100
◆ 真空度:<133Pa
技術(shù)參數(shù):
1. 送風(fēng)方式:強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)。
2. 溫度范圍:+60~620℃。
3. 溫度波動(dòng):<±0.5℃。
4. 溫度均勻:200℃±3℃;350℃±4℃;600℃±7.5℃(空箱測(cè)試)
5. 升溫速度:常溫~600℃,升溫速率0~8℃/min以內(nèi)
6. 降溫速度:500~360℃,1~2℃/min,360~200℃,5~1℃/min,200~125℃,3~1℃/min,125~
80℃,1~0.5℃/min,水冷+風(fēng)冷降溫。
7. 控溫方式:訊號(hào)來(lái)源,采用K型 鉑電阻 感應(yīng)棒±0.5%。
溫控裝置:歐姆龍PLC + 10寸工控電腦。
PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)
系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮?dú)獠蛔?,含氧量超?biāo)、門未關(guān)到位
溫控輸出:SSR輸出
8. 氮?dú)饪刂蒲b置:氮?dú)饬髁坑?jì),N2數(shù)字流量器,可實(shí)時(shí)監(jiān)控氮?dú)饬髁?/font>。
9. 箱體材料:外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷。
10.內(nèi)室材料:采用 2.0mm厚度SUS310優(yōu)質(zhì)不銹鋼鋼板,周身做密閉氬弧焊接
11.保溫材料:120K級(jí)高密度硅酸鋁纖維;
12.電加熱器:覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無(wú)塵化U型管狀(不銹鋼SUS310#)電熱發(fā)生器。
13.保護(hù)裝置:漏電斷路器,超溫保護(hù),開門氮?dú)庾詣?dòng)中斷保護(hù),馬達(dá)過(guò)載電流保護(hù),N2流量動(dòng)態(tài)監(jiān)
控,排風(fēng)口壓力報(bào)警,工作期間門自動(dòng)鎖閉
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