半導(dǎo)體行業(yè)不銹鋼304潔凈烘箱產(chǎn)品特點(diǎn):
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
品 名 | 千級潔凈烘箱 |
型 號 | SKPHH-9070A |
工作室尺寸 | W400 * D350 * H500 MM |
總消耗功率 | 2.0 KW |
潔 凈 度 | Class 1000 (立方英尺0.5UM顆粒數(shù)小于100,立方米0.5UM顆粒數(shù)小于3520) |
容 積(L) | 70 L |
溫 度 | RT+20 ~ +250℃ |
配 置 | P.I.D控溫 三色燈,急停按鈕 |
設(shè)備技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
工作室容積 | (400mm×350mm×500mm )(W寬×D深×H高) |
工作溫度范圍 | RT+20 ~ +250℃ |
升溫速率 | 5℃/min (空載,非線性) |
溫度偏差 | ≤±1℃(空載,恒定狀態(tài)時) |
溫度精度/分辨率 | ±0.1℃ |
溫度波動度 | ±1℃(空載,恒定狀態(tài)時) |
溫度均勻性 | ±1.5%(空載,恒定狀態(tài)時) 200℃時誤差為±3℃ |
時間定時范圍 | 0 – 9999 小時,分鐘,秒 |
潔凈等級 | Class1000 立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵?!?span>1000
|
總功率 | 2.5 KW |
電源 | 220V 50Hz (三相五線) |
電源線 | 2.5米 |
箱體結(jié)構(gòu)系統(tǒng)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
結(jié)構(gòu)方式 | 整體結(jié)構(gòu)采用單門立式結(jié)構(gòu),控制柜位于箱體上方,外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑,工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,內(nèi)部光亮整潔,自身潔凈不產(chǎn)塵。 |
材料構(gòu)成 | 1.外壁材料:1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑,顏色為工業(yè)白。 2.內(nèi)壁材料:2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。 3.絕熱材料:100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。 |
結(jié)構(gòu)強(qiáng)度 | 箱底板承重能力:≤130Kg(均勻負(fù)載) |
柜門 | 1.單開門結(jié)構(gòu),門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。 2.拉手采用拉桿式安全防爆拉手。 |
備注:干燥箱工作室內(nèi)部經(jīng)過堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應(yīng)使用無紡無塵布擦拭工作室內(nèi)部及隔板。
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
配置 | 1.風(fēng)道位于箱體頂部與背部,高效過濾器H.E.P.A位于箱體風(fēng)道內(nèi)部。 2.熱風(fēng)經(jīng)過H.E.P.A進(jìn)入干燥箱內(nèi)部,再循環(huán)至頂部進(jìn)入風(fēng)道,往復(fù)循環(huán)。 3.三相異步長軸耐高溫長軸馬達(dá),帶相序保護(hù),超溫過流保護(hù)。 4.不銹鋼渦輪扇葉,出廠經(jīng)動平衡調(diào)校,確保送風(fēng)平穩(wěn)。 5.排風(fēng)口:不銹鋼排風(fēng)管,帶自動風(fēng)閥,排風(fēng)管位于箱體背部。 |
工作方式 | 設(shè)備啟動,鼓風(fēng)裝置持續(xù)運(yùn)行,箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)。 |
過濾系統(tǒng)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
配置 | 1.耐高溫高效過濾器,過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um) 2.采用進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材,連續(xù)耐溫350℃,鋁箔隔層,陶瓷膠密封 3.邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條 |
工作方式 | 設(shè)備啟動,熱風(fēng)循環(huán)啟動,熱風(fēng)通過高效過濾器H.E.P.A實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈化。 |
安全保護(hù)系統(tǒng)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
工作室 | 獨(dú)立式工作室超溫保護(hù)器 |
加熱系統(tǒng) | 欠壓、超壓保護(hù).過流保護(hù).加熱器斷線保護(hù).超溫保護(hù) |
熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) | 相序保護(hù).缺相,欠壓保護(hù).過熱,過載,過流保護(hù) |
電源系統(tǒng) | 電源缺相及相序錯誤保護(hù).漏電保護(hù).加熱器超溫保護(hù).加熱器短路過流保護(hù) |
其他 | 設(shè)備外殼接地保護(hù),電磁門禁系統(tǒng) |