KJ-T1600 CVD 是一種管式爐,具有 80mm 直徑的氧化鋁管和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 3通道CVD設(shè)備 | |
型號(hào) | KJ-T1600 -3M | |
管式爐部分 | 顯示 | 液晶觸摸屏 |
溫度 | 1600℃ | |
工作溫度 | ≤1500℃ | |
升溫速率 | 0~10℃/min | |
溫區(qū) | 300mm | |
加熱元件 | MoSi2 | |
熱電偶 | B型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | 80x1000mm | |
材質(zhì):氧化鋁管 | ||
塞磚 | 包括兩個(gè)纖維陶瓷塊,用于阻擋來自管內(nèi)的熱輻射(陶瓷塊必須在加熱前插入爐腔)。 | |
溫度控制 | PID自動(dòng)控制 | |
真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
電源 | 220V, 50 Hz, 單相6KW | |
質(zhì)量流量計(jì) (液晶觸摸屏) | 三臺(tái)精密質(zhì)量流量計(jì): MFC 1:氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2:氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3:氣體流量范圍0~200 sccm (氣體流量范圍可根據(jù)您的要求) 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥,手動(dòng)控制3種氣體混合 | |
更多參數(shù)可按需定制 |
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