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PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/1/12 9:50:34
  • 訪問次數(shù)297
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食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購部電話:13777369734

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是 食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái),為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測(cè)試與評(píng)估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級(jí)電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級(jí)電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測(cè)試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備; ? 功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等); ? 高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測(cè)試表征等); 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對(duì)于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級(jí)別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對(duì)外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺(tái),承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試體驗(yàn),配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*的實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障。科晶團(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
封口設(shè)備
簡要描述:PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 “dia x 14.4“L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用,對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。
PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用,對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 射頻功率:0-500W

● 總功率:1.5KW

● 電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源

● 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié)

● 頻率:13.56MHz

注:可與本公司工作人員聯(lián)系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機(jī)

等離子腔體

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體

● 鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封

● 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口

● 此設(shè)備屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

控制面板

● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等

● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì),可精確地控制進(jìn)氣流量

真空泵(選配)

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

● 極限真空度為80mTorr(參考值,具體請(qǐng)點(diǎn)擊)

通入氣體

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

● 不能使用及腐蝕性氣體。

可選

● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

● 可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H mm

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

相關(guān)應(yīng)用

● 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試等離子功率

● 對(duì)于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 - 30W之間

● 對(duì)于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間

● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源



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