| 功能特點(diǎn) |
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- 設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
- 通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得the best 鍍膜效果。
- 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
- 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
- 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
- 濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層。
- 可用水冷濺射頭、水冷載物臺(tái)。
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） | ||
| 工作臺(tái) | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通風(fēng)裝置 | 不需要 | ||
| 靶 | Ø50mm | ||
| 真空室 | Ø160mm×120mm | ||
| MAX真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
| 大電流 | 50mA（100mA） | ||
| 可設(shè)定長(zhǎng)時(shí)間 | 9999s | ||
| 微型真空氣閥 | 連接Ø3mm軟管 | ||
| MAX電壓 | 1600V DC | ||
| 機(jī)械泵 | 2L/s | ||
| 尺寸 | 360mm×300mm×380mm | ||
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
| 2 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
| 3 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
