VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
安裝條件 |
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- 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
- 1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口
- 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
- 3、氣:不需要
- 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
- 5、通風(fēng)裝置:需要
技術(shù)參數(shù) | ||
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特點(diǎn) | 1、設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。 2、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。 3、真空度大可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán),且更換方便簡(jiǎn)單。 6、電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。 7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。 8、可在惰性氣體氣氛下圖層 9、可在真空狀態(tài)下圖層,在此狀態(tài)下圖層,需要粘接基片或夾持基片方可實(shí)現(xiàn) | |
功率 | 350W | |
轉(zhuǎn)速 | 500rpm-6000rpm | |
時(shí)間 | 1s-60s | |
腔體真空度 | 1Torr(VRD-16機(jī)械泵連續(xù)工作) | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:250mm×290mm;重量:25kg | |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 真空吸盤(pán) | 1個(gè) |
夾持吸盤(pán) | 1個(gè) | |
無(wú)油真空泵 | 1臺(tái) | |
可選配件 | VRD-16機(jī)械泵 |