VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
- 二段程序控制速度。
- 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
- 真空度大可以達到-0.08MPa。
- 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
- 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
- 電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
- 本機可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。
技術(shù)參數(shù) |
---|
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 |
水 | 設(shè)備配有進出水口 |
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 |
氣 | 不需要 |
工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 |
通風(fēng)裝置 | 需要 |
功率 | 350W |
轉(zhuǎn)速 | 500rpm-6000rpm |
時間 | 1s-60s |
尺寸 | Ø250mm×290mm |
重量 | 25kg |
可選配件 | 過濾器(真空泵用) |
標(biāo)準配件 | 1 | 真空吸盤 | 1個 |
2 | O型膠圈 | 1個 |
3 | 滴膠器 | 1個 |
4 | 滴液器支架 | 1個 |
5 | 無油真空泵 | 1臺 |