PiPi小型等離子裝置

高頻輸出 200W,反應腔 W130×D130mm  

經(jīng)濟型、.適合于研究開發(fā)用小型等離子清洗機。  

特點  

● 經(jīng)濟型等離子清洗機

● 簡單的等離子處理操作

● 等離子模式為RIE模式  

用途  

● 去除有機物

● 樹脂/膜等表面改質

● 改善粘接效果

● 提高親水性

● 去除金屬氧化物

● 蝕刻  

等離子  

等離子為氣體發(fā)生電離狀態(tài)，形成帶有正電的離子及帶有負電的電子狀態(tài)。等離子為帶有高能量、反應性非常高的狀態(tài)，其容易與物質表面進行反應的特性被廣泛使用。  

等離子RIE（Reactive Ion Etching 方式）

RIE是去除物體表面的有機物污垢，同時去除無機物的.合適的清洗方式。

RIE方式為加速離子層中的陽離子，沖擊污染表面的物理性清洗方式。

規(guī)格