Inficon CDG025D電容膜片式真空計(jì)
INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計(jì)是高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì)設(shè)計(jì)用于在嚴(yán)酷的制造工具環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. *的數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和提供容易操作的特點(diǎn)如一鍵調(diào)零的功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供的零點(diǎn)穩(wěn)定性, 以及引起能達(dá)到數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)包括大氣沖擊的長(zhǎng)的使用壽命.*的傳感器屏蔽保護(hù)真空計(jì)防止過(guò)程污染. 經(jīng)久耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)提高 EMC 兼容性, 長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩(wěn)定性和暴露大氣后的快速恢復(fù)性設(shè)定新的標(biāo)準(zhǔn).
優(yōu)勢(shì):
全量程范圍從100毫乇 … 1000乇
加電源后快速穩(wěn)定性
從大氣壓的快速恢復(fù)性
抗腐蝕的陶瓷傳感器
長(zhǎng)期訊號(hào)穩(wěn)定性
溫度補(bǔ)償
傳感器有防污染保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
寬范圍電源
兩個(gè)設(shè)點(diǎn) (可選)
RS232 接口 (可選)
Inficon CDG025D電容膜片式真空計(jì)用途:
半導(dǎo)體制造設(shè)備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD
數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
一般高精度壓強(qiáng)測(cè)量
技術(shù)規(guī)格
滿(mǎn)量程范圍(Torr) | 1000 | 100 | 10 | 1 | 0.1 |
精度 | 0.2%讀數(shù) | 0.5%讀數(shù) | |||
溫度效應(yīng) |
|
|
| ||
分辨率 | 0.003%滿(mǎn)量程 | ||||
響應(yīng)時(shí)間 | 30ms | 130ms | |||
低壓強(qiáng)讀值 | 0.01%滿(mǎn)量程 | ||||
低建議壓強(qiáng) | 0.05%滿(mǎn)量程 | ||||
低建議控制 | 0.5%滿(mǎn)量程 | ||||
電源電壓 | +14至+30Vdc | ||||
輸出信號(hào) | 0至+10V模擬量 | ||||
電氣連接件 | D-sub 15針 | ||||
工作溫度 | +5至+50℃ | ||||
烘烤溫度 | ≤110℃法蘭處(未運(yùn)行) | ||||
安裝方位 | 垂直 | ||||
防護(hù)等級(jí) | IP30 |
訂貨號(hào):
CDG025D電容膜片式真空計(jì) 10Torr DN 16 ISO-KF 377-001