BCG450  B-A型皮拉尼電容膜片真空計

INFICON B-A型皮拉尼電容膜片真空計, BCG450, 將三種不同的技術(shù)綜合在一個簡單, 小型, 經(jīng)濟(jì)的組裝件中用于測量過程和基本壓強(qiáng)從 5 x 10-10 至 1500 毫巴(3.75 x 10-10 至 1125 乇). BCG450 設(shè)計于取代三種傳感器 (熱離子, 增強(qiáng)對流的皮拉尼和真空開關(guān)), 從而降低成本和可貴的工具空間.

優(yōu)勢：

BCG450 節(jié)省成本和工具空間和減少真空測量安裝和設(shè)置的復(fù)雜性

與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)測量, 在 10 乇以上為任何氣體混合物提供更可靠的預(yù)抽鎖控制

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱燈絲防止過早燒毀

自動高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)

大氣壓下的差分壓強(qiáng)測量可消除與大氣壓強(qiáng)變更有關(guān)的不定性

易于更換傳感元件和在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性

可選圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口, 例如 以太網(wǎng)

RoHS 兼容性

應(yīng)用：

半導(dǎo)體過程,傳送和自鎖室的壓強(qiáng)測量

工業(yè)鍍膜

從低至超高真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

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