低壓等離子設備 Tetra 150 PC / PCCE
Tetra 150 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 150 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。Tetra 150 等離子系統(tǒng)主要應用于以下領域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽車行業(yè)
生物技術
彈性體技術
電子技術
電子顯微鏡
精密工程
研究和開發(fā)
半導體技術
小批量生產(chǎn)
塑料技術
醫(yī)療技術
微系統(tǒng)技術
太陽能電池技術
紡織技術
基本設備
根據(jù)具體組件/選裝件，外殼規(guī)格會有所不同
腔室容積：根據(jù)具體版本為 150 升
供電電源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
氣源
質量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm）
裝載件
產(chǎn)品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
電極
單層或多層
具有氣體噴淋的 RIE 電極
控制系統(tǒng)
PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
壓力測量
Pirani
Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器
數(shù)字型
發(fā)生器
| 頻率： | 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 1200 W |
所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調型
真空泵
規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓?？蓱筇峁┑钠渌x項。
