研究設(shè)備：Bell Jar 35 等離子系統(tǒng)
Bell Jar 35 等離子設(shè)備是一種研究設(shè)備，其專為科學(xué)試驗所研發(fā)。該設(shè)備即適用于熱蒸發(fā)、濺射、電子束蒸發(fā)、SEM（掃描電子顯微鏡）樣品制備的金屬涂層，也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝。
基本設(shè)備
外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
腔室容積：約 35 升
供電電源： 230 V / 16 A
氣源
3 個質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩
∅ 315 mm x 高 500 mm
濺射源
1 個濺射源 2" - 3" + 擋板
（可為反應(yīng)過程選配排煙管和進(jìn)氣口）
基材支架
∅ 140 mm （可選擇旋轉(zhuǎn)型、基材加熱器、基材冷卻裝置）
可切換為等離子體預(yù)處理的電極（清洗、活化、蝕刻）
控制系統(tǒng)
PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XPe)
壓力測量
Pirani
發(fā)生器
| 頻率： | 40 kHz: 功率 0 - 500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W |
直流偏置電源或單極性脈沖
功率 300 W
電壓 600 V，直流電
發(fā)生器為 0 - 99% 無級可調(diào)型
真空泵
規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項。
