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在半導體加工的過程中,需要用水進行處理,該水質(zhì)的要求非常高,不能含有任何離子雜質(zhì),因此只有超純水符合行業(yè)用水要求。但超純水的回用率不高,因此對優(yōu)質(zhì)超純水的需求量很大。傳統(tǒng)的超純水制備方法主要有蒸餾法和離子交換法。蒸餾設備要求嚴格,產(chǎn)量低,能耗高。離子交換法再生失效的離子交換樹脂需要大量的酸堿溶液和大量的清洗水,勞動強度高。可以看出,這些傳統(tǒng)方法不適合生產(chǎn)高純度的超純水。
萊特萊德半導體超純水設備設計采用成熟、可靠、高度自動化的兩級ro+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的水電阻和電電阻達到18MΩ.CM以上。厘米該設備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水,不會因樹脂再生而停止運行。設備結(jié)構設計相對緊湊,占地面積小,可為企業(yè)節(jié)省大量空間。半導體超純水設備出廠前需進行壓力試驗。設備故障概率小,日常維護和維修操作非常簡單。半導體超純水設備還配備了反滲透預脫鹽技術,再次從根本上確保了水處理設備的出水質(zhì)量。