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芯片超純水設備通常由多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成，預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、混床等構成主要工藝。水箱設有液位控制系統(tǒng)，水泵設有高低壓保護裝置，水質在線檢測控制儀表，電氣采用模塊化組合PLC，通信遠傳至中控室上位機，實現(xiàn)現(xiàn)場就地控制和集中控制兩種運行方式。與其他同類產品相比，該設備具有更高的性價比和設備可靠性。
芯片超純水設備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質量的超純水，不會因樹脂再生而停止運行。設備的結構設計比較緊湊，占地面積小，可以為企業(yè)節(jié)省大量空間。超純水設備出廠都經過調試，運行故障概率小，日常維護、維修等操作非常簡單。芯片超純水設備還配備了反滲透預脫鹽技術，保證反滲透系統(tǒng)進水達標，避免膜元件的損壞，從根本上保證設備的出水質量。同時，芯片超純水設備廢水產量少，不會污染環(huán)境，具有很高的環(huán)境效益和經濟效益和廣闊的發(fā)展前景。為國內芯片自主研發(fā)產業(yè)提供堅實的“可控”基礎。
