產(chǎn)品名稱TN-G1700S三溫區(qū)三路氣體CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
三溫區(qū)管式爐主要用途:陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機(jī)械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做粉末焙燒、陶瓷燒結(jié)、高溫實(shí)驗(yàn)、材料處理、質(zhì)高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
TN-G1700S三溫區(qū)三路氣體CVD系統(tǒng)主要用途:陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機(jī)械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做粉末焙燒、陶瓷燒結(jié)、高溫實(shí)驗(yàn)、材料處理、質(zhì)高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
三溫區(qū)管式爐主要功能和特點(diǎn):
1.設(shè)備的控制系統(tǒng)具有安全可靠、操作簡(jiǎn)單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空等。
三溫區(qū)管式爐技術(shù)參數(shù):
1
產(chǎn)品型號(hào)
TN-G1700S
2
爐 膛
高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好。
3
爐管尺寸
Φ60×1200mm
4
加熱元件
溫區(qū)1溫區(qū)3-硅碳棒,溫區(qū)2硅鉬棒
5
測(cè)溫元件
溫區(qū)1溫區(qū)3 S級(jí), 溫區(qū)2 B級(jí)
6
控溫方式
溫度控制采用三個(gè)高精度30段數(shù)字控溫儀控制,具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,30段升降溫程序
7
密封方式
不銹鋼法蘭密封
8
真空系統(tǒng)
高真空系統(tǒng)組(達(dá)到技術(shù)要求)
9
工作溫度
溫區(qū)1溫區(qū)3≤1400℃ 溫區(qū)2≤1700℃
10
溫度
溫區(qū)1溫區(qū)3≤1450℃ 溫區(qū)2≤1750℃
11
恒溫精度
±1℃
12
恒溫區(qū)長(zhǎng)度
總加熱區(qū)長(zhǎng)度不小于 25〞
13
建議升溫速度
溫區(qū)1溫區(qū)3 20℃/min 溫區(qū)2 10℃/min
14
氣體流量系統(tǒng)
三通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)(達(dá)到技術(shù)要求)
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額定功率
10KW
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工作電源
AC220V/50HZ/60HZ
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標(biāo)準(zhǔn)配件
三溫區(qū)管式爐 1臺(tái),高真空系統(tǒng) 1套,三通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 1套,原廠配置管式爐架 1個(gè)
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