無論待測(cè)樣品是大的還是小的,測(cè)量?jī)?nèi)容是簡(jiǎn)單的還是復(fù)雜的,測(cè)量人員是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品。
優(yōu)異的光學(xué)性能
STM7系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
提供操作友好、高精度的3軸測(cè)量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為一家成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
適合多種樣品的載物臺(tái)
STM7的特色就是配備有一個(gè)可以測(cè)量大型樣品(包括300 mm晶圓和印刷電路板等)的300 mm×300 mm的載物臺(tái)。7提供了相同X和Y軸測(cè)量行程的大載物臺(tái),這樣對(duì)于大樣品就不需要旋轉(zhuǎn)樣品。由于X和Y軸的測(cè)量行程都比較長(zhǎng),可以將多個(gè)樣品排列在載物臺(tái)上,實(shí)現(xiàn)更有效的測(cè)量。
具有優(yōu)異的重復(fù)性的便捷、精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像,也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量,因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
可以消除測(cè)量過程中主觀性影響的便捷功能
自動(dòng)邊緣檢測(cè)這個(gè)功能檢測(cè)樣品的邊緣,自動(dòng)獲取樣品的坐標(biāo)并測(cè)量。因此,操作者不再需要指D坐標(biāo),這較大程度地降低了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量的影響。自動(dòng)邊緣檢測(cè)的另外一個(gè)特色是具有定時(shí)功能,實(shí)現(xiàn)了到規(guī)定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標(biāo)。定時(shí)功能和腳踏開關(guān)功能,使操作者能夠在手不需要離開載物臺(tái)手柄的情況下專心測(cè)量。