NanoCalc反射法納米測厚儀

光學(xué)特性從反射和干涉影像中顯現(xiàn)出來。膜厚測量儀允許用戶從10nm到250μm分析光學(xué)圖層厚度。用戶可以觀察到一副圖層厚度分辨率達到0.1nm的單圖。根據(jù)用戶選擇的軟件，用戶可以分析單圖層或者小于二分之一的多圖層，并且可以測量圖層厚度和半導(dǎo)體加工影像或者增透涂料。

特點

·分析單一或者多層

·分辨率到0.1nm

·適用于原地，在線測量厚度

工作原理

兩個共同的通道用來測量膜層特征，光譜反射/傳播和橢圓偏光。膜厚測量儀利用反射原理來測量入射光到達樣品表面后從薄膜反射過來的波段。

通過n和k搜索

很多圖層可以被認(rèn)定是一個薄膜的堆積。很多的薄膜和基地原料都能被金屬、電介質(zhì)、非結(jié)晶或者水晶半導(dǎo)體。膜厚測量儀軟件包含一個巨大的n和k價值庫提供很多的普遍原料。用戶可以編輯和添加數(shù)據(jù)庫。同樣，用戶可以通過方程式編程或者散射公式自定義材料類型。

用途

膜厚測量儀適用于原地在線厚度檢測和移除速率應(yīng)用程序，并且可以被用來檢測氧化物的膜厚度，碳化硅，光阻材料和其他半導(dǎo)體薄膜處理。膜厚測量儀可檢測增透膜涂層、耐摩擦涂層和粗糙涂層。