東營半導體凈化車間裝修
半導體組件空間單位都是以微米計算,因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導線布局的樣式,造成短路或斷路的嚴重后果。所有半導體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這就是半導體無塵車間的來由。
東營半導體凈化車間裝修有哪些無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,承接半導體凈化車間無塵是必然的要求。每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
半導體凈化車間具體的潔凈措施包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等,其中對無塵車間潔凈等級起關(guān)鍵決定作用的則是空氣潔凈措施。
1、半導體凈化車間設(shè)計必須保證無塵車間內(nèi)有著很高潔凈度的空氣量。要達到這樣的標準,那么就必須選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入無塵車間的空氣,進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
2、要保證無塵車間空氣潔凈度,除了要有潔凈的空氣送風外,還要有合理的氣流分布流型,比如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。3、有了潔凈的空氣和合理的氣流分布,那么我們還要保證足夠的送風量,這個就需要根據(jù)無塵車間的規(guī)格大小來選擇合適的送風設(shè)備,這樣既可以稀釋空氣的含塵濃度,又能保證有穩(wěn)定的氣流流型。
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