工業(yè)型微波單晶硅干燥設(shè)備,無三廢產(chǎn)生
單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其可以用于二集管級(jí)、整流器件級(jí)、電路級(jí)以及太陽能電池級(jí)單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造,其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位。
單晶硅或多晶硅等使用微波干燥的特點(diǎn)總結(jié)如下:
1.時(shí)間短、速度快。
常規(guī)熱力干燥是通過熱傳導(dǎo),對流或輻射等方式將熱量從物體表面?zhèn)髦羶?nèi)部。往往需要較長時(shí)間,物體內(nèi)部才能達(dá)到所需的干燥度。而在高頻電磁場作用下,這些取向按交變電磁的頻率不斷變化,這一過程造成分子的運(yùn)動(dòng)和相互摩擦從而產(chǎn)生熱量。此時(shí)交變電場的場能轉(zhuǎn)化為介質(zhì)內(nèi)的熱能,使介質(zhì)溫度不斷升高,故微波加熱是介質(zhì)材料自身損耗電場能量而發(fā)熱。所以微波加熱處理時(shí)間大大縮短,在一定功率密度強(qiáng)度下,一般只要數(shù)十秒、幾分鐘即能達(dá)到滿意效果。
2.低溫干燥保持微波有熱效應(yīng)的快速升溫和非熱效應(yīng)的雙重作用,相比常規(guī)熱力干燥,能在比較低的溫度和較短的時(shí)間獲得所需的干燥效果。
3.節(jié)約能源。
微波電能轉(zhuǎn)換效率高,一般在70以上。微波是直接對物料進(jìn)行作用處理,加熱箱體本身不被加熱,因而不存在額外的熱能損耗,所以節(jié)能省電,一般可節(jié)電30—50。
4.干燥均勻。
常規(guī)熱力干燥是從物料表面開始,然后通過熱傳導(dǎo)傳至物料內(nèi)部。物料內(nèi)外溫度存在溫差,內(nèi)外干燥效果一致性差??s短處理時(shí)間,往往內(nèi)部達(dá)不到足夠溫度而影響干燥效果。采用提高處理溫度可有所改善這一現(xiàn)象。而微波具有穿透性能,表面和內(nèi)部同時(shí)作用,能保證內(nèi)、外部溫度一同達(dá)到要求值,所以干燥物內(nèi)外很均勻。
5.便于控制、易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。
微波干燥設(shè)備操作簡單,便于控制,沒有熱慣性,能根據(jù)不同工藝規(guī)范要求進(jìn)行處理,減少生產(chǎn)操作人員,降低生產(chǎn)成本。
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