承接煙臺(tái)半導(dǎo)體凈化車間凈化工程
簡(jiǎn)單來說一說關(guān)于半導(dǎo)體凈化車間的裝修方案,如何裝修半導(dǎo)體凈化車間,需要有哪些注意的事項(xiàng)?潔凈凈化小編總結(jié)了以下幾點(diǎn)供大家了解一下。
承接煙臺(tái)半導(dǎo)體凈化車間凈化工程
1.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈無塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。
2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開多久。
3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,潔凈無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃等在潔凈無塵車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至低程度。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人或事物進(jìn)出潔凈無塵車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。
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