河南*廚房空氣凈化車間裝修鄭州市食品廠
一、人流
首先是人員凈化;電子廠凈化車間入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí),應(yīng)設(shè)氣閘室;單人空氣吹淋室,應(yīng)按班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開啟,應(yīng)采取連鎖控制措施;空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室,宜設(shè)氣閘室。
二、物流
電子廠凈化車間內(nèi)的設(shè)備和物料出入口,應(yīng)獨(dú)立設(shè)置,并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施;物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
三、靜壓差
不同等級(jí)的電子廠凈化車間之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa
一、潔凈室之定義
潔凈室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無(wú)塵并非*沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的*。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
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