Edwards從1939年開(kāi)始制造真空設(shè)備到現(xiàn)在，在光伏和led行業(yè)應(yīng)用廣泛，也是半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué)制造過(guò)程中*的一部分，Edwards 是*的開(kāi)發(fā)商和生產(chǎn)商，提供精密的真空泵系統(tǒng)產(chǎn)品、減排解決方案和相關(guān)的增值服務(wù)。
概述：
EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是很受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用：
真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光。
功能和優(yōu)勢(shì)：
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護(hù)要求降到*。軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要*標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
