淄博半導(dǎo)體凈化工程車間裝修
提到半導(dǎo)體凈化工程,青島潔凈凈化技術(shù)有限公司,目前凈化工程項目主做淄博半導(dǎo)體凈化工程車間裝修,半導(dǎo)體凈化工程裝修要求有下面幾點:
1.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈無塵車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。
2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機加壓多久,空調(diào)就得開多久。
3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,潔凈無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃等在潔凈無塵車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至低程度。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人或事物進(jìn)出潔凈無塵車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導(dǎo)體潔凈無塵車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是溶劑與清潔劑,在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!
7.半導(dǎo)體潔凈無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
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