雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)
00D50-5Z 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫；PLC控制5路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD（化學氣象沉積系統(tǒng)）常用于表面材料生長、沉積，是一款實驗室常用設(shè)備
技術(shù)參數(shù)
雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z | 爐體結(jié)構(gòu) | 該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對滑軌，可手動滑動，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。 |
爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。) | |
功率 | 5kW | |
輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
加熱元件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） | |
高溫度 | 溫度：1200℃ 額定溫度：1100℃ | |
升溫速率 | ≦10℃/min（*） | |
加熱區(qū)長度度 | 兩個加熱區(qū)的長度都是200mm 分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制 | |
恒溫區(qū)長 | 100+100mm（±1℃） 可獲得較長恒溫區(qū)間 | |
控溫精度 | ±1℃ | |
快速連接法蘭 | Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 | |
五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) MFC-5Z
| 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇） | |
工作溫度 | 5～45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
大承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接 | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件 | |
使用注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
