電子廠(chǎng)凈化裝修
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類(lèi)潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠(chǎng)房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
電子廠(chǎng)凈化工程的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
電子廠(chǎng)凈化工程潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值:
補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)大值:
保證電子制造廠(chǎng)無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量,
根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠(chǎng)潔凈室的送風(fēng)量,
向電子制造廠(chǎng)潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量.