電子無塵車間
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個較傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn)：
建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案二：
水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點(diǎn)：
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
凈化方案三：
分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點(diǎn)：
無塵車間的潔凈度：LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大。
D、送風(fēng)量大。
一般半導(dǎo)體電子潔凈車間隔墻一般彩用50mm防火巖棉彩鋼板，為了考慮今后的維護(hù)需來回在頂板走動，建意采用玻鎂板，因?yàn)榇藘r格較高。當(dāng)然也會用紙蜂窩彩鋼板。彩鋼板，隔間、吊頂都需要用彩鋼板，通常都需要用防火巖棉莢芯彩鋼板，紙蜂窩莢芯彩鋼板優(yōu)點(diǎn)：重量輕、強(qiáng)度好，但性價比不高。巖棉彩鋼板作為首板材質(zhì)作為隔墻，紙蜂窩作為頂板。
地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
半導(dǎo)體電子潔凈車間使用的木材的含水率不應(yīng)大于16%，并且不得外露使用。由于潔凈車間換氣次數(shù)大，相對濕度低，如大量使用木材，易干裂、變形、松動、產(chǎn)生灰塵等，即使用也要局部使用，并且一定要做好防腐防潮處理。
潔凈車間通常都需頻繁擦拭，除了用水擦拭還會用消毒水、酒精、其它溶劑等擦拭，這些液體通常都有一定的化學(xué)品性，會使一些材料表面變色、脫落，這就要求裝修材料表面有一定的耐化學(xué)品性。
電子無車間主要安裝的凈化設(shè)備：
*，無塵凈化車間進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝，新風(fēng)過濾箱，*凈化空調(diào)（*凈化空調(diào)要分為初效/中效/高效三個過濾段）末端有高效送風(fēng)口。有必要時還裝有凈化增壓箱。
第二，無塵凈化車間回風(fēng)系統(tǒng)要安裝，回風(fēng)口，過濾初效器，中效回風(fēng)箱。
第三，進(jìn)入無塵凈化車間之前*入緩沖區(qū)，緩沖區(qū)門安裝電子互鎖，更衣處放置潔凈儲衣柜，空氣清新機(jī)。
第四，人和貨物進(jìn)入無塵凈化車間須經(jīng)過，風(fēng)淋室，貨淋室，傳遞窗主要傳遞小物品。
第五，在無塵凈化車間內(nèi)局部需要達(dá)到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺，層流罩（FFU），潔凈棚，自凈器。測潔凈室潔凈度用，激光塵埃粒子計數(shù)
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