硅晶片潔凈無塵車間
青島綠叢林空氣凈化工程有限公司是專業(yè)從事潔凈技術研究、凈化工程的設計、無塵車間施工、凈化廠房檢測及潔凈技術人員培訓的*。公司憑借多年空氣凈化的專業(yè)經(jīng)驗，在全國各地的徽電子、光磁技術、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、電子器械、精密儀表、航空航天、食品工業(yè)、化妝品工業(yè)、科研教學等*產(chǎn)業(yè)等領域中，設計承建了各種不同類型的凈化廠房、無塵車間及無菌室，能夠提供滿足FS209E聯(lián)邦標準、GB50073-2001要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設計、制造、安裝、調試、檢測等綜合性成套服務。
本公司嚴格執(zhí)行ISO9001質量體系，從設計、計劃、工程材料采購到每個制造、安裝工序均有嚴格的操作程序和規(guī)范，能有效保證工程進度和工程質量。根據(jù)工程的特點，結合ISO9001質量管理體系的要求，本公司實施一套完整的售后服務制度，能提供優(yōu)質的一站式、保姆式的售后服務。
從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細分為以下幾道主要工序：
單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質檢查-潔凈包裝
從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設計方案。
