凈化工程設(shè)計(jì)潔凈車間內(nèi)的空氣分配設(shè)備(通常是吊頂過濾器)被設(shè)計(jì)成“噴淋式”,用來提供統(tǒng)一的、潔凈的已過濾的空氣。向房間補(bǔ)給的空氣量,讓人想起與普通的淋浴噴頭相反的消防。美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E、日本標(biāo)準(zhǔn)JIS B9920和ISO 標(biāo)準(zhǔn)14644-1的標(biāo)題是:潔凈室外和相關(guān)控制環(huán)境——*部分:清潔空氣的分級(jí)。這些標(biāo)準(zhǔn)提供了潔凈室參數(shù)、分級(jí)和檢測(cè)方法的指導(dǎo)方針,但并未說明如何經(jīng)濟(jì)有效地達(dá)到要求。這是因?yàn)槊糠N生產(chǎn)過程和潔凈室外的要求是不同的,因此,可以采用不同的再循環(huán)空氣量,達(dá)到預(yù)期的環(huán)境要求。
房間內(nèi)污染物的比率和實(shí)際微粒產(chǎn)生情況,是影響潔凈室空氣換氣次數(shù)的主要因素。在生產(chǎn)過程中,不對(duì)其他因素產(chǎn)生任何影響的情況下,清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環(huán)空氣數(shù)量的因素是:房間的結(jié)構(gòu)、設(shè)備的位置、設(shè)備表面溫度、空氣對(duì)流、氣流類型(單向通過敏感區(qū)或者通過全空間)、操作空間和規(guī)章、使用的材料和化學(xué)藥品等。
潔凈車間可能需要在靜態(tài)下進(jìn)行鑒定,在工況下進(jìn)行鑒定,對(duì)生產(chǎn)過程進(jìn)行確認(rèn)或者cGMP認(rèn)證。由綜合服務(wù)管理部制定的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209(e),建議100或90fpm。然而有可能建立一個(gè)空氣流動(dòng)速度較低,但比100級(jí)潔凈度更高的潔凈室。實(shí)際上,已經(jīng)有潔凈室的空氣流動(dòng)速度是45cfm/平方英尺。
新風(fēng)處理空調(diào)箱[Make-up AHUs]。典型的新風(fēng)處理空調(diào)箱(初級(jí)AHUs)為循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱(二級(jí)AHUs)提供必需的新風(fēng)。新風(fēng)由離心排風(fēng)機(jī)、軸流或plug風(fēng)機(jī)加上過濾器、預(yù)熱和再熱用熱水盤管、冷卻和除濕使用的冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加濕器等組成。附件和差異包括靜電空氣混合器、蒸汽預(yù)熱盤管、超聲波加濕器、鹽水、除濕用的直接交換[Dx]或乙二醇低溫冷凍盤管、VOC吸附過濾器、噪聲衰減器,VFP(變頻)驅(qū)動(dòng)等。
新風(fēng)處理空調(diào)箱通道是將空氣注入集管,再通過支管系統(tǒng)給循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱提供新風(fēng)。在初級(jí)和二級(jí)風(fēng)管上進(jìn)行空氣測(cè)量,并調(diào)節(jié)送風(fēng)機(jī)、VFD或進(jìn)口風(fēng)閥以便恒定風(fēng)量。Magnahelic講量器臨測(cè)安裝在各個(gè)空調(diào)箱內(nèi)HEPA過濾器布袋過濾器和預(yù)過濾器的荷載。有吊頂風(fēng)機(jī)過濾器的情況下,新風(fēng)處理空調(diào)箱出來的空氣進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱再送出。
循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱(Recirculation AHUs)。典型的循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱由高效離心式風(fēng)機(jī)、過濾器和濕熱(干)冷盤管組成。附加和差異包括用于局部溫度控制的再熱盤管、用于局部濕度控制的蒸汽或超聲波加濕器、風(fēng)量恒定控制箱。這種采用Whisper-Air and Compac Space 風(fēng)機(jī)系統(tǒng)的方式提供了一種節(jié)約成本和充分使用能源的選擇。
多重循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱通過送風(fēng)管,再經(jīng)過ULPA過濾器或HEPA過濾器,將空氣送入潔凈室,在潔凈度等級(jí)為10級(jí)和1級(jí)的潔凈間的吊頂上,這些過濾器通常是*覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔凈間,穿過帶孔的架空地板磚進(jìn)入地板下面的回風(fēng)空間,再通過垂直回風(fēng)夾道向上進(jìn)入吊頂回風(fēng)靜壓箱。然后 ,空氣再次進(jìn)入循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱,以上的空氣循環(huán)再次重復(fù)。如果是使用吊頂風(fēng)機(jī)過濾器,在風(fēng)機(jī)過濾器上面的吊頂空間時(shí),可以安裝水或直接交換冷卻風(fēng)機(jī)盤管實(shí)現(xiàn)表面冷卻。