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大容量等離子清洗機(jī)

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  • 公司名稱雅馬拓科技貿(mào)易(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2019/1/12 14:23:15
  • 訪問次數(shù)553
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雅馬拓科技貿(mào)易(上海)有限公司
大容量等離子清洗機(jī)13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī),搭載 RIE·DP 雙模式。使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式
高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng)
多種用途。
大容量等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

大容量等離子清洗機(jī)

大容量等離子清洗機(jī)簡介

13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī),搭載 RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式 高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng) 多種用途。

特征:● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。 ● 搭載高精度適配器,高性能RF 電源。 ● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途:硅晶圓的灰化及蝕刻 ● 基板表面污垢處理 ● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理 ● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗 ● 自然氧化膜·有機(jī)物去除 ● 界面活性處理 ● 表面污染物去除

規(guī)格 型號(hào) V1000 V1000X V1000XS 等離子模式 DP/RIE 高頻電源 13.56MHz 輸出功率 Max1000W Max1000 & 1500W 有效電極尺寸 W280×D280mm W300×D300mm W400×D375mm 電極 平行平板 2段電極(獨(dú)立) 平板(多目的) 反應(yīng)氣體 聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝) 真空泵(標(biāo)配) 約1000L/min 約1500L/min 1000 & 1500L/min 安全裝置 門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

 

 

關(guān)鍵詞:清洗機(jī) 真空泵
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