光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。灼華奉獻(xiàn)HEIDENHAIN直線光柵526974-15
光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，目前（2006年）光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測量。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以等到光柵尺的移動(dòng)方向。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以等到光柵尺的位移和速度。
Mecatraction 51661-4J
Mitsubishi FR-D740-160-NA
Hawe BVG-3R-G24-PYD
MP Filterel FRI100BAG1A25N
Murr 7000-12221-2241000
Woerner VOE-B/6/2-7/7/7/7/7/O/P
SUCO 0180-45703-1-022
Eberspaecher 3-00701E01-01
Rechner KAS-40-A14-N-K, ATEX, 5 m, L = 70 mm，NO:KA0231
DECKMA Display PCB for OMD-2005 Monitor Part No.: 75300 15PPM
Kuenemund HY61906 C0/3
Hoentzsch B004/512
Wheelabrator 10240612
JACOB 11151525
zimm SH30001688 GSZ-50-SRO
Noding MeBtechnik GmbH P121-400-G11
SIEMENS 6AG1334-0KE00-7AB0
heidenhain Kupplung K14 ID:293328-01(dringend)
Beckhoff EL9410
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Burster Typ-9243
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ETL 201967
Phoenix VIP-3/SC/D25SUB/M ID：2315133
Schmidt DTMB-2500
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heidenhain ECN 113 528100-24(New ID：810800-24)
Contrinex LFG-4020-100
Ac-motoren FCA 100 LA-4/HE 2,2KW
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KNF 010129;WELLMEMBRANE PTFE N026.11
RITTAL 3396336
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Goldammer TR12-K2A-FE-200-III
SALTUS DSG-0，NO:8439000201
SMW 25457
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HPI P3 BAN 3025 HL 10 B03N
Baumer OADM260I1101-S14C
Bucher CINDY 16-B-SNS-S100-A-G6-15
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Norgren VM106517AQ0408
B&R X20TB12
ARGO-HYTOS C19B-02400E1 27670600
DIT O3PL2034038 F21566
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。灼華奉獻(xiàn)HEIDENHAIN直線光柵526974-15
通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力。
