進(jìn)口高純減壓器
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高純減壓器簡(jiǎn)介：
高純減壓器單級(jí)減壓器適用于非腐蝕性，腐蝕性氣體。膜片和閥體的密封采用硬密封的設(shè)計(jì)，降低泄漏率，同時(shí)提高了安全性和使用壽命。
進(jìn)口高純減壓器
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) Features
316L 不銹鋼母體
膜片式硬密封，泄漏率低
可采用面板安裝和后座安裝
壓力表標(biāo)準(zhǔn)連接： 1/4” FSR(M)
可選：1/4” FSR (F)
內(nèi)部電解拋光
高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
使用壽命長(zhǎng)
通過(guò)氦氣測(cè)試
材質(zhì) Materials
母體：316L
閥座：PCTFE
膜片：316L
上蓋：316
功能特性 Functional Performance
流量：Cv=0.14
母體泄漏率：2x10 -8 atm cc/sec He
閥座泄漏率：4x10 -8 atm cc/sec He
設(shè)計(jì)驗(yàn)證壓力：zui大額定壓力的 150%
設(shè)計(jì)爆破壓力：zui大額定壓力的 400%
工作條件 Operating Conditions
zui大的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口壓力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),
0-500 psi (35 bar)
溫度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
標(biāo)準(zhǔn)：Ra 20μin
可選：Ra 10μin
內(nèi)部容積 Internal Volume
4.6 cc
