威海潔凈凈化之集成電路無塵車間施工
集成電路無塵車間為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該潔凈室對環(huán)境潔凈度,溫濕度,振動,ESD,AMC控制等有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造潔凈室有面積大,潔凈等級高,溫濕度控制精度高等特點。
威海潔凈凈化之集成電路無塵車間施工
根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
*種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為zui主要的凈化設(shè)計方案。
潔凈凈化技術(shù)是設(shè)計與施工的專業(yè)技術(shù)企業(yè),提供凈化工程、無塵車間、超凈車間、潔凈工程、風(fēng)淋室、無塵廠房、無菌廠房、醫(yī)院潔凈手術(shù)室、光電凈化廠房等*10萬-10級空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計、制造、安裝、調(diào)試、檢測綜合性成套服務(wù)。
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