INFICON分析儀氣體分析儀殘余氣體分析儀
持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此,在半導體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應用中都實現(xiàn)業(yè)內*的性能,有助于zui大限度地提高芯片產量,降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性,有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過程控制設備領域的專長,制造的 RGA 擁有業(yè)內*的數(shù)據(jù)采集速度、zui低可檢測分壓和zui小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
產品功能:
模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms zui高每點數(shù)據(jù)率
TCP/IP 以太網(wǎng)連接
雙絲極
可現(xiàn)場更換電子倍增器
組合陽極、陰極和反射極絲極套件
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個數(shù)量級的動態(tài)量程
<2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型號)
信噪比更高
可調換傳感器和電子元件
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝
符合 RoHS 標準。
INFICON分析儀氣體分析儀殘余氣體分析儀
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