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電容式壓力傳感器簡介
科學技術(shù)的不斷發(fā)展*地豐富了壓力測量產(chǎn)品的種類,現(xiàn)在,壓力傳感器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應(yīng)變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應(yīng)變式傳感器zui為多見。 金屬應(yīng)變式壓力傳感器是一種歷史較長的壓力傳感器,但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點,其應(yīng)用場合受到了很大的限制。 壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)制造的一種新型的傳感器,它具有制造方便,成本低廉等特點,但由于半導(dǎo)體材料對溫度極為敏感,所以其性能受溫度影響較大,產(chǎn)品的*性較差。 電容式傳感器是應(yīng)用zui廣泛的一種壓力傳感器,其原理十分簡單。一個無限大平行平板電容器的電容值可表示為: C= ε s/d(ε 為平行平板間介質(zhì)的介電常數(shù),d 為極板的間距, s 為極板的覆蓋面積) 改變其中某個參數(shù),即可改變電容量。由于結(jié)構(gòu)簡單,幾乎所有電容式壓力傳感器均采用改變間隙的方法來獲得可變電容。電容式傳感器的初始電容值較小,一般為幾十皮法,它極易受到導(dǎo)線電容和電路的分布電容的影響,因而必須采用*的電子線路才能檢測出電容的微小變化??梢哉f,一個好的電容式傳感器應(yīng)該是可變電容設(shè)計和信號處理電路的*結(jié)合。
壓力傳感器知識
壓力傳感器是工業(yè)實踐中zui為常用的一種傳感器,而我們通常使用的壓力傳感器主 要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
我們知道,晶體是各向異性的,非晶體是各向同性的。某些晶體介質(zhì),當沿著一定 方向受到機械力作用發(fā)生變形時,就產(chǎn)生了極化效應(yīng);當機械力撤掉之后,又會重新回 到不帶電的狀態(tài),也就是受到壓力的時候,某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng),這就是所謂 的極化效應(yīng)??茖W家就是根據(jù)這個效應(yīng)研制出了壓力傳感器。
壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石 英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范 圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質(zhì)*消失(這個高溫 就是所謂的 “ 居里點 ” )。由于隨著應(yīng)力的變化電場變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比 較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度 和壓電系數(shù),但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氫胺屬于人 造晶體,能夠承受高溫和相當高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。
在現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,比如現(xiàn)在的壓電陶瓷,包括鈦酸鋇壓電陶瓷、 PZT 、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,因為經(jīng)過 外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是 這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應(yīng)力。
壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測量中。壓電式加速度傳感器是一種 常用的加速度計。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點。壓電 式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經(jīng)得到了廣泛 的應(yīng)用,特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來測量發(fā) 動機內(nèi)部燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用于軍事工業(yè),例如用它來測量槍炮在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來測量大的壓力,也可以用來測量微小的壓力。
壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學測量中,比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電 傳感器制成的,因為測量動態(tài)壓力是如此普遍,所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛。 除了壓電傳感器之外,還有利用壓阻效應(yīng)制造出來的壓阻傳感器,利用應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)變 式傳感器等,這些不同的壓力傳感器利用不同的效應(yīng)和不同的材料,在不同的場合能夠 發(fā)揮它們*的用途
美國CELTRON HCD輪輻式傳感器:
HCD-2.5t HCD-5t HCD-10t HCD-25t
HCD-50t HCD-60t HCD-100t HCD-150t
HCD-25Klb HCD-50Klb HCD-100Klb
美國CELTRON MDB/MDBD橋式稱重傳感器:
MDB-10t,MDB-20t,MDB-25t,MDB-30t,MDB-40t
MDBD-10t,MDBD-20t,MDBD-25t,MDBD-30t
美國CELTRON LPS單點式稱重傳感器:
LPS-0.6kg,LPS-1kg,LPS-2kg,LPS-3kg,LPS-6kg,LPS-10kg,LPS-15kg,LPS-20kg,LPS-30kg,LPS-35kg,LPS-60kg,LPS-100kg,LPS-200kg
傳感器的基本知識
1.1 傳感器的定義和組成
廣義地說,傳感器是指將被測量轉(zhuǎn)化為可感知或定量認識的信號的傳感器。從狹義方面講,感受被測量,并按一定規(guī)律將其轉(zhuǎn)化為同種或別種性質(zhì)的輸出信號的裝置。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、測量電路和輔助電源四部分組成,其中敏感元件和轉(zhuǎn)換元件可能合二為一,而有的傳感器不需要輔助電源。
1.2 傳感器技術(shù)的基本特性
在測試過程中,要求傳感器能感受到被測量的變化并將其不失真地轉(zhuǎn)換成容易測量的量。被測量有兩種形式:一種是穩(wěn)定的,稱為靜態(tài)信號;一種是隨著時間變化的,稱為動態(tài)信號。由于輸入量的狀態(tài)不同,傳感器的輸入特性也不同,因此,傳感器的基本特性一般用靜態(tài)特性和動態(tài)特性來描述。衡量傳感器的靜態(tài)特性指標有線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、分辨率和漂移等。影響傳感器的動態(tài)特性主要是傳感器的固有因素,如溫度傳感器的熱慣性等,動態(tài)特性還與傳感器輸入量的變化形式有關(guān)。