深圳市金光華凈化專業(yè)無塵室,潔凈室概述
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非*沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的*。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
深圳市金光華凈化專業(yè)無塵室,潔凈室相關(guān)概念:
⑴自凈時(shí)間:是指無塵室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到無塵室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。1,000級(jí)希望不超過20min(分鐘,可取15min計(jì)算)10,000級(jí)希望不超過30min(分鐘,可取25min計(jì)算)100,000級(jí)希望不超過40min(分鐘,可取30min計(jì)算)
⑵換氣次數(shù)(按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級(jí) 43.5-55.3次/小時(shí)(規(guī)范:50次/小時(shí))10,000級(jí) 23.8-28.6次/小時(shí)(規(guī)范:25次/小時(shí))100,000級(jí) 14.4-19.2次/小時(shí)(規(guī)范:15次/小時(shí))
深圳市金光華凈化專業(yè)無塵室,潔凈室設(shè)備
無塵室車間必須配備風(fēng)淋室、FFU、傳遞窗、潔凈工作臺(tái)等一些凈化設(shè)備,有潔凈度要求更為嚴(yán)格的廠家還需要潔凈棚,高效送風(fēng)口等更多的凈化設(shè)備進(jìn)行配合使用
深圳市金光華凈化專業(yè)無塵室,潔凈室實(shí)拍圖片
金光華凈化設(shè)計(jì)的配備潔凈工作臺(tái),F(xiàn)FU的無塵車間圖