功能用途
本產(chǎn)品利用渦流原理制造:即被測蒸鋁層靠近高頻激磁磁場時, 感應產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場, 此渦流磁場反作用于原來激磁磁場, 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過檢測電路并進行放大, 輸出與厚度相對應模擬電壓。
技術參數(shù)
可測量范圍與量程
被測薄膜尺寸:100mm±10%×200mm±10%
測量量程:厚度90~800Å (0.009~0.08µm) 方阻95~0.47Ω/□
精 確 度
測量準確度:厚度 ±(20Å+2%讀數(shù)) 方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范圍)
讀數(shù)重現(xiàn)性 :10Å (同一測量點)
儀器尺寸:120 x 320 x 400(毫米)
重 量 :毛重7公斤
配置
鍍鋁膜測厚儀壹臺
校正片一片
電纜線一根