依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級(jí)在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。
無(wú)塵室等級(jí)，無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)定義
一、無(wú)塵室定義
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無(wú)法看見(jiàn)的灰塵及
粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無(wú)法*清除之灰塵。
無(wú)塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo
（BCR）。
二、聯(lián)邦規(guī)格無(wú)塵室等級(jí)
現(xiàn)今一般多奉行與美國(guó)所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格（美國(guó)航空
署5340.2規(guī)格）。
其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級(jí)○○]。例如：空氣中含有10個(gè)0.5
以下時(shí)，表示為“等級(jí)10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。
三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無(wú)塵室清潔度，共分為8個(gè)等級(jí)
一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí)，分為等級(jí)1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為
1；百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3，一次類推。
21世界，zui*產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕
的變化對(duì)商品的完成度亦造成*的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中
用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境（無(wú)塵室）潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造*的要素。
無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)，潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

一、無(wú)塵車間（Clean Room），亦稱為潔凈室或無(wú)塵室。
  「無(wú)塵車間」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「無(wú)塵車間」。
二、無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)-等級(jí)

美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（< USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3
潔凈度級(jí)別        粒 徑 （um）
        0.1        0.2        0.3        0.5        5.0
1        35        7.5        3        1        NA
10        350        75        30        10        NA
100        NA        750        300        100        NA
1000        NA        NA        NA        1000        7
10000        NA        NA        NA        10000        70
100000        NA        NA        NA        100000        700

中國(guó)藥品生產(chǎn)無(wú)塵車間（區(qū)）的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度級(jí)別        塵埃zui允許數(shù) /平方米        微生物zui大允許數(shù)
        ≥0.5um        5um        浮游菌個(gè) /立方米        沉降菌個(gè) /皿.30min

100        3500        0        5        1
10000        350000        2000        100        3
100000        3500000        20000        500        10
300000        10500000        61800        NA        15

無(wú)塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)GB50073-2001
空氣潔凈度等級(jí) （N）        大于或等于表中粒徑的zui大濃度限值 （pc/m3）
        0.1μm        0.2μm        0.3μm        0.5μm        1μm        5μm
1        10        2                                    
2        100        24        10        4                  
3        1000        237        102        35        8         
4        10000        2370        1020        352        83         
5        100000        23700        10200        3520        832        29
6        1000000        237000        102000        35200        8320        293
7                                   352000        83200        2930
8                                   3520000        832000        29300
9                                   35200000        8320000        293000
三、無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)-控管之項(xiàng)目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
5. 有害氣體之排除。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁干擾預(yù)防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。
四、無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)-分類
1.亂流式（Turbulent Flow）：
  空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車間內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由無(wú)塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
  優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵車間等級(jí)。
  缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2.層流式（Laminar）：
  層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率*之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
（1）無(wú)塵車間水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
  優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
  缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
（2）無(wú)塵車間垂直層流式：房間天花板*以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。
  優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
  缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
3.復(fù)合式（Mixed Type）：
  復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
（1）無(wú)塵車間潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域*覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
（2）無(wú)塵車間潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為zui適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
（3）無(wú)塵車間并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；即屬此類。
  潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
  潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。
五、無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)-氣流之流動(dòng)
  無(wú)塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。
  無(wú)塵車間系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
  無(wú)塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
  另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。
  無(wú)塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
  影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。
  一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。
  無(wú)塵車間內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少zui低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

六、無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)-構(gòu)成
  潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室
（1）天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
（2）空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
（3）隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶、門。
（4）地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
（5）照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
  無(wú)塵車間之建筑主體構(gòu)造，一般采用雙面板夾芯彩鋼板制造，但無(wú)論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；C.吸濕性?。籇.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高

無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)：設(shè)計(jì)與施工嚴(yán)格按照《ISO/DIS14644-1標(biāo)準(zhǔn)》、《GB50073-2001無(wú)塵車間裝設(shè)計(jì)規(guī)范》、《JGJ71-90無(wú)塵車間裝施工及驗(yàn)收規(guī)范》等專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以ISO9002質(zhì)量體系為宗旨，進(jìn)行凈化工程的設(shè)計(jì)、制作、安裝、調(diào)試的一條龍服務(wù)，滿足了不同行業(yè)對(duì)凈化、空調(diào)、無(wú)菌、照明、電氣及裝飾等需要。并且對(duì)外承接空調(diào)水系統(tǒng)安裝，配電系統(tǒng)安裝。