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KSZY-D16擴散爐恒溫槽5大特點如下：
◆采用高精度動態(tài)恒溫控制技術和SMT裝配技術，*恒溫波動度達±0.05℃，專門為半導體擴散爐配套。
◆ 提供單個源瓶、兩個源瓶、和四個源瓶的結構形式，適合不同的應用需求。
◆ 將源瓶與水介質*隔離的鐵氟龍隔離套，將任何泄漏事故引起的危險降低到zui低程度。
◆ 采用全封閉磁力泵循環(huán)攪拌，溫場均勻，*泄漏。通過將傳感器與循環(huán)泵液流的一體化設計，大大提高控溫精度和溫場均勻性。
◆ 液槽內膽、瓶源隔離套、電熱器和蒸發(fā)器等可能與工作介質接觸的部件采用不銹鋼材料，其中瓶源隔離套內壁經(jīng)鐵氟龍?zhí)幚恚瑢ｉT解決擴散爐應用問題。
KSZY-D16擴散爐恒溫槽技術參數(shù)：
| 型號 | |||
| 溫度范圍（℃） | +5~60（環(huán)境溫度≤40℃）、+15~+40（環(huán)境溫度≤60℃） | ||
| 溫度波動（±K） | ±0.05~0.1（環(huán)境溫度≤40℃）、±0.1~0.2（環(huán)境溫度≤60℃） | ||
| 顯示分辨（℃） | 0.1 | ||
| 加熱功率（W） | 600 | 600 | 600/1000 |
| 制冷量（W） | 250 | 300 | 350 |
| 內膽尺寸（mm） | 240*145D*220H（-S12） | 240W*120D*195H（-D10） | 240W*240D*195H（-Q10） |
| 源瓶尺寸（mm） | 100D*148H（-X10） 120D*168H（-X12） 160D*198H（-X16） | ||
| 源瓶隔離套 | 1個/不銹鋼,內壁防腐處理 | 2個/不銹鋼,內壁防腐處理 | 4個/不銹鋼,內壁防腐處理 |
| 外形尺寸（mm） | 300W*475D*300H（-S12） | 300W*450D*275H（-D10） | 375W*570D*300H（-Q10）345W*615D*300H（-Q12） |
| 壓縮機（W） | 150 | ||
| 制冷劑 | R134 a | ||
| 內膽材料 | 304不銹鋼，提供316L不銹鋼或鈦材的定制 | ||
| 外殼材料 | 優(yōu)質冷軋鋼板靜電噴涂 | ||
| 工作方式 | 連續(xù) | ||
| 輔助功能 | 數(shù)顯溫度校正，傳感器異常保護和報警，高溫保護和低溫報警，停電恢復，防干燒 | ||
| 電源 | 220V/50Hz | ||
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