早在二十世紀(jì)六十年代,*個(gè)層流室的建立就已經(jīng)開始出現(xiàn)FFU的應(yīng)用了FFU層流罩,中文專業(yè)用語為風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組。
FFU層流罩風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應(yīng)用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室和局部百級等應(yīng)用場合。FFU層流罩設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。采用*,適用于在各種環(huán)境中獲得高級別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中,即可提高潔凈度級別,降低噪音和振動,也可大大降低造價(jià),安裝維護(hù)方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。
*:噪聲問題。各位可以想一想,在當(dāng)時(shí)的生產(chǎn)工藝水平下,5000臺風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會是多大呢?
第二:維護(hù)問題。FFU本身造價(jià)就比較高,如果它的電機(jī)壽命不能保證的話,更換又會帶來附加投資。這些都是造成當(dāng)時(shí)的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。但是這一切,在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制,大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下,這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動控制的發(fā)展,監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個(gè)角落的靜壓也變得容易起來。zui后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍。現(xiàn)在,隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展,越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。國家之所以大力推廣FFU,正是因?yàn)樗旧淼膬?yōu)勢。
*、靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二、可再利用性。從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的*特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔靜廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五、減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。比用常規(guī)的空調(diào)機(jī)組集中送風(fēng)減少約40%的運(yùn)行成本。